特許
J-GLOBAL ID：200903062337284761
探針ユニット
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-344514
公開番号（公開出願番号）：特開平10-170529
出願日： 1996年12月10日
公開日（公表日）： 1998年06月26日
要約：
【要約】【課題】 走査型探針顕微鏡(SPM)において、探針の交換を簡単かつ短時間で行うことができるようにする。【解決手段】 探針ユニットは、帯状のカンチレバー基板11の長手方向に、先端部に探針14を有するカンチレバー13が複数一定のピッチで配列されて設けられた構造となっている。そして、カンチレバー基板11は走査型探針顕微鏡の取付部に長手方向にスライド可能に取り付けられる。したがって、探針14の交換を行う場合には、カンチレバー基板11を所定の方向に1ピッチだけスライドさせてその取付位置を変えるだけでよい。
請求項（抜粋）：
カンチレバー基板に先端部に探針を有するカンチレバーが複数設けられていることを特徴とする探針ユニット。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 G
, G01B 21/30 Z
