特許
J-GLOBAL ID:200903062337367888
光学的形状測定方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
松本 悦一
, 椎名 彊
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-001145
公開番号(公開出願番号):特開2006-189315
出願日: 2005年01月06日
公開日(公表日): 2006年07月20日
要約:
【課題】高さ変動が加わった高速に移動する帯状体の真の形状を全面にわたって密に測定する簡易な測定方法を提供する。【解決手段】出力が変調された線状レーザ光源を用い、帯状体上に光切断像を構成し、撮像側に遅延積分型のリニアセンサを用いて、前記光切断像を少しずつずらしながら重ね撮像して、帯状体の形状を復元する光切断方式の形状測定方法において、振動成分のみを含む幅方向位置を検索し、この位置における長手方向の板の高さ変動を、振動を含んだ形状から差し引くことにより振動を除去して本来の形状を測定する。さらに幅方向断面曲線の長さ変化から波ピッチを、長手方向における板の高さ曲線の長さから伸び率を求め、正弦波近似により簡易に波高さを計算する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
出力が変調された線状レーザ光源を用い、帯状体上に該帯状体の幅方向に線状のレーザビームを投射して光切断曲線(像)を構成し、該光切断曲線(像)を前記帯状体上で所定の間隔ずつずらしながら遅延積分型のリニアセンサを用いて重ね撮像して、帯状体の形状を復元する光切断方式の形状測定方法であって、
前記帯状体の長手方向に沿っての高さ変動が最小になる前記帯状体の幅方向の点を求め、該点における長手方向の高さ変動を前記帯状体の振動の大きさとして、幅方向の各点で測定された高さから差し引くことにより、前記帯状体の形状の指標を、帯状体の全面または一部にわたって測定することを特徴とする光学的形状測定方法。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (25件):
2F065AA24
, 2F065AA45
, 2F065AA51
, 2F065BB13
, 2F065BB15
, 2F065CC06
, 2F065DD14
, 2F065FF01
, 2F065FF02
, 2F065FF09
, 2F065FF64
, 2F065GG04
, 2F065HH05
, 2F065HH12
, 2F065JJ03
, 2F065JJ09
, 2F065JJ26
, 2F065PP16
, 2F065QQ00
, 2F065QQ04
, 2F065QQ11
, 2F065QQ17
, 2F065QQ23
, 2F065QQ25
, 2F065QQ27
引用特許:
出願人引用 (3件)
-
平坦度測定装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-177783
出願人:三菱電機株式会社
-
特許2913903号公報
-
光学的形状測定方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-014533
出願人:新日本製鐵株式会社
審査官引用 (4件)
-
光学的形状測定方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-014533
出願人:新日本製鐵株式会社
-
特公平4-014728
-
形状測定装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-297234
出願人:三菱電機株式会社
前のページに戻る