特許
J-GLOBAL ID：200903062340009399
カーボン薄膜の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤本 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-087903
公開番号（公開出願番号）：特開平6-275148
出願日： 1993年03月22日
公開日（公表日）： 1994年09月30日
要約：
【要約】【目的】 薄膜性に優れてカーボン化度の安定したカーボン薄膜を効率的に製造できる方法を得ること。【構成】 蒸着重合により形成した重縮合反応型又は重付加反応型の有機高分子薄膜を加熱処理するカーボン薄膜の製造方法。【効果】 有機高分子薄膜を厚さの制御性よく容易に量産でき、その膜が厚さの均一性、支持体との密着性に優れてカーボン化度を良好に制御でき、品質の安定したカーボン薄膜がドライプロセスで得られる。
請求項（抜粋）：
蒸着重合により形成した重縮合反応型又は重付加反応型の有機高分子薄膜を加熱処理することを特徴とするカーボン薄膜の製造方法。
IPC (3件)：
H01B 13/00 501
, C04B 41/82
, C23C 14/58
