特許
J-GLOBAL ID：200903062342998101
表面反射鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
野田 茂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-110831
公開番号（公開出願番号）：特開平5-281405
出願日： 1992年04月03日
公開日（公表日）： 1993年10月29日
要約：
【要約】【構成】 樹脂基板の表面上に形成された二酸化ケイ素からなる下地層と、前記下地層上に形成されたアルミニウムからなる反射層と、前記反射層上に形成された二酸化ケイ素からなる第1保護層と、前記第1保護層上に形成された、酸化チタン、酸化タンタルおよび酸化ジルコニウムから選択される少なくとも一種の材料からなる第2保護層と、前記第2保護層上に形成された酸化アルミニウムからなる第3保護層とを有する表面反射鏡。【効果】 基板に対して圧縮応力を及ぼす二酸化ケイ素からなる下地層を用いているため、高温高湿雰囲気下に放置した場合でも樹脂基板と膜構造との間に点状欠陥が発生することがない。
請求項（抜粋）：
樹脂基板の表面上に形成された二酸化ケイ素からなる下地層と、前記下地層上に形成されたアルミニウムからなる反射層と、前記反射層上に形成された二酸化ケイ素からなる第1保護層と、前記第1保護層上に形成され、酸化チタン、酸化タンタルおよび酸化ジルコニウムから選択される少なくとも一種の材料からなる第2保護層と、前記第2保護層上に形成された酸化アルミニウムからなる第3保護層と、を有することを特徴とする表面反射鏡。
IPC (2件)：
引用特許：
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