特許

J-GLOBAL ID：200903062343843004

ポジ型感放射線性樹脂組成物

発明者： 梶田 徹 ,  小林 英一 ,  大田 利幸 ,  三浦 孝夫 ,  村田 誠
出願人/特許権者： 日本合成ゴム株式会社
代理人 (1件)： 大島 正孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-244794
公開番号（公開出願番号）：特開平6-095389
出願日： 1992年09月14日
公開日（公表日）： 1994年04月08日
要約：

【要約】【目的】 体積収縮の小さい化学増幅系ポジ型レジストを提供する。【構成】 放射線の照射により酸を発生する化合物(酸発生剤)と酸により遊離しうる置換基を含有する有機物を含有するポジ型感放射線性樹脂組成物。【効果】本発明のポジ型感放射線性樹脂組成物は、遠紫外線以下の波長の放射線照射にも好適に使用され、従来のポジ型化学増幅系レジストで問題であったパターン形成時のレジスト膜の体積収縮の問題を解決し、パターン形状および寸法の制御性に優れている。

請求項（抜粋）：

(1)放射線の照射により酸を発生する化合物、(2)アルカリ可溶性樹脂、および(3)芳香環の少なくとも1つに結合した下記一般式(1)【化1】で示される置換基を有するアルカリ溶解性制御化合物、を含有することを特徴とするポジ型感放射線性樹脂組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/029 ,  H01L 21/027