特許
J-GLOBAL ID：200903062349328497
マトリクス型面圧力分布検出素子
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 弘男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-124285
公開番号（公開出願番号）：特開平6-288846
出願日： 1992年04月17日
公開日（公表日）： 1994年10月18日
要約：
【要約】【目的】 製造時における位置合わせが不要でしかも部位により感度のばらつきのないマトリクス型面圧力分布検出素子を提供すること。【構成】 一枚の半導体基板に多数のトランジスタをマトリクス状に形成し、該基板上に基板との対向面に導電膜を有する可撓性フィルムを重ねて配置し、前記半導体基板上で一方向に複数列に配列された各列の複数のトランジスタどうしはコレクタ電極が共通に接続されて同方向に配置された他の列の複数のトランジスタのコレクタ電極から電気的に分離され、前記一方向とは直角方向に複数列に配列された各列の複数のトランジスタどうしはベース電極が共通に接続されて同方向に配列された他の列の複数のトランジスタのベース電極から電気的に分離され、面圧力を受けるとその部位が撓んで該部位に位置するトランジスタのエミッタ電極が接触電極として前記可撓性フィルムの導電膜と接触するように構成した。
請求項（抜粋）：
複数のトランジスタをそのエミッタ電極が露呈するようにマトリクス状に形成した半導体基板上に、該半導体基板との対向面に導電膜を有する可撓性フィルムを重ねて配置し、前記半導体基板上で一方向に複数列に配列された各列の複数のトランジスタどうしはコレクタ電極が共通に接続されて同方向に配置された他の列の複数のトランジスタのコレクタ電極から電気的に分離され、前記一方向とは直角方向に複数列に配列された各列の複数のトランジスタどうしはベース電極が共通に接続されて同方向に配列された他の列の複数のトランジスタのベース電極から電気的に分離され、面圧力を受けるとその部位が撓んで該部位に位置するトランジスタがエミッタ電極を介して導通するように構成し、その接触の程度を前記トランジスタのコレクタ電流を測定することにより面圧力分布をデジタル的またはアナログ的に検出するようにしたことを特徴とするマトリクス型面圧力分布検出素子。
IPC (2件)：
G01L 5/00 101
, H03K 17/00
