光学的に監視可能な透明な光学チャック

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-235527
公開番号（公開出願番号）：特開平8-181199
出願日： 1995年09月13日
公開日（公表日）： 1996年07月12日
要約：

【要約】【課題】本発明は、ウェハ製造中に半導体ウェハをその表面に一致する状態で支持することのできるチャックを提供することを目的とする。【解決手段】所望の形状の光学的に研磨された表面20を有し、ウェハ14を支持する透明な基体12と、ウェハ14が実質的にそれに一致するように研磨された表面20にウェハ14を固定するシステムとを具備し、基体12が、研磨表面20とウェハ14との間に形成されたギャップが基体12を通って光学的にイメージを生成することを可能にするように十分透明であることを特徴とする。ウェハ14を固定するシステムは真空チャック或いは静電力による吸引力を利用して構成されている。

請求項（抜粋）：

所望の形状の光学的に研磨された表面を有し、ウェハを支持する透明な基体と、前記ウェハが実質的にそれに一致するように前記研磨された表面に前記ウェハを固定するシステムとを具備し、前記基体が、前記研磨表面と前記ウェハとの間に形成されたギャップが前記基体を通って光学的にイメージを生成することを可能にするように十分透明であることを特徴とするウェハ製造中に半導体ウェハを支持するチャック。

IPC (2件)：

H01L 21/68 , B23Q 3/15

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開昭56-162835
特開平4-186654
特開平4-372152

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