特許
J-GLOBAL ID：200903062361294492
ウエハ加工装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
川瀬 茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-085321
公開番号（公開出願番号）：特開平6-275582
出願日： 1993年03月18日
公開日（公表日）： 1994年09月30日
要約：
【要約】【目的】 ウエハの面取り装置において吸着テ-ブルによりウエハを真空チャックして支持し砥石に接触させてウエハのへりを研削している。ウエハと吸着テ-ブルの間に異物を挟み込むと、ウエハの面が傷つくことがある。ウエハの損傷を防止できる加工装置を与えることが目的。【構成】 吸着テ-ブルの裏面を洗浄水で洗い発泡軟質樹脂の清拭器で拭いさらに空気を吹き付けて乾燥させる。ウエハもブラシで清掃する。ウエハと吸着テ-ブルの両方からごみが除去されるので、吸着テ-ブルでウエハを吸着してもウエハが傷つくことがない。
請求項（抜粋）：
ウエハの外周を研削しへりを丸く面取りする回転砥石と、ウエハを吸着し回転支持しながら砥石にウエハを接触させる吸着テ-ブルと、ウエハを吸着テ-ブルの下に搬送し加工されたウエハを吸着テ-ブルから搬送する搬送装置と、回転砥石を収容する加工室とを有し、ウエハの搬送経路の途中にブラシを設けウエハの上面を清掃し、洗浄水と空気を吹き出す洗浄器を設けて吸着テ-ブルの下面を洗浄し、さらに軟質樹脂の清拭器によって吸着テ-ブルの下面を清掃するようにした事を特徴とするウエハ加工装置。
IPC (3件)：
H01L 21/304 301
, H01L 21/304 321
, B24B 9/00
