特許
J-GLOBAL ID：200903062370306959
積層セラミック部品の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-074088
公開番号（公開出願番号）：特開平7-263271
出願日： 1994年03月17日
公開日（公表日）： 1995年10月13日
要約：
【要約】【目的】 セラミックグリーンシートを薄膜化し、積層数を多くしても構造欠陥や短絡不良等の発生を防止し、信頼性の高い小型大容量の積層セラミック部品を、工業的に容易に製造することのできる製造方法を提供することにある。【構成】 第1支持フィルムの表面上にセラミックグリーンシートを形成するシート形成ステップと、第2支持フィルムの表面上に、導体パターンを印刷形成して内部電極シートを形成する印刷形成ステップと、前記第1支持フィルムのセラミックグリーンシート側と、前記第2支持フィルムの内部電極シート側を重ねて熱圧着する接合ステップと、接合ステップにより得られた接合体から第2支持フィルムを剥離する剥離ステップと、前記第1支持フィルム上の接合シートを切断し、第1支持フィルムを剥離して単位シートを形成する切断ステップと、前記単位シートを所定の数を積層して積層体を形成する積層ステップと、前記積層体を熱圧着して一体化する熱圧着ステップからなる。
請求項（抜粋）：
導体パターンを印刷形成したセラミックシートを積層し、熱圧着してセラミック積層体を形成する積層セラミック部品の製造方法において、第1支持フィルムの表面上に、セラミック粉末と樹脂及び溶剤からなるスラリーを塗布、乾燥してセラミックグリーンシートを形成するシート形成ステップと、第2支持フィルムの表面上に、内部電極となる導体パターンを印刷形成して内部電極シートを形成する印刷形成ステップと、前記第1支持フィルムのセラミックグリーンシート側と、前記第2支持フィルムの内部電極シート側を重ねて熱圧着し、セラミックグリーンシートと内部電極シートからなる接合シートを有する第1支持フィルムと第2支持フィルムの接合体を形成する接合ステップと、前記接合体から、第2支持フィルムを剥離する剥離ステップと、前記第1支持フィルム上の接合シートを切断し、第1支持フィルムを剥離して単位シートを形成する切断ステップと、前記単位シートを所定の数を積層して積層体を形成する積層ステップと、前記積層体を熱圧着して一体化する熱圧着ステップとを有することを特徴とする積層セラミック部品の製造方法。
IPC (3件)：
H01G 4/12 364
, H01G 4/30 311
, H01G 4/30
