特許
J-GLOBAL ID：200903062373564398
合焦装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-301795
公開番号（公開出願番号）：特開平5-142462
出願日： 1991年11月18日
公開日（公表日）： 1993年06月11日
要約：
【要約】【目的】本発明は、透明薄板標本を観察する際に裏面反射光を除去でき、反射率の異なる微細パターンが形成された液晶基板に対して簡単かつ正確に合焦調節できる合焦装置を提供することを目的とする。【構成】本発明は、光源21からの測定用光束を対物レンズ30の瞳の片側を通して標本31上に集光し、その反射光を再び対物レンズ30の瞳を通過させた後に受光手段33上に集光して、その集光スポット位置を検出して合焦判定を行う合焦装置において、透明薄板31の裏面反射光の集光点付近で当該裏面反射光を遮光する第1の遮光手段34,38を備え、または表面反射光の集光位置付近で表面反射光のみを通過させる第2の遮光手段37,39を備えたものである。
請求項（抜粋）：
光源からの測定用光束を対物レンズの瞳の片側を通して標本上に集光し、その標本で反射した反射光を再び前記対物レンズの瞳を通過させた後に受光手段上に集光して、その集光スポット位置を前記受光手段で検出して合焦判定を行う合焦装置において、少なくとも前記標本として透明薄板が用いられる時に、前記透明薄板の裏面で反射した裏面反射光の集光点付近で、当該裏面反射光を遮光する第1の遮光手段を備えたことを特徴とする合焦装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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