特許

J-GLOBAL ID：200903062382857683

無塵室内ウェーハ表面検査装置

発明者： 野牧 宏治
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-223096
公開番号（公開出願番号）：特開平6-066730
出願日： 1992年08月24日
公開日（公表日）： 1994年03月11日
要約：

【要約】【目的】 無塵室内のウェーハ表面に付着する異物微粒子を検査する無塵室内ウェーハ表面検査装置に関し、浮遊する異物微粒子が少なく且つ小さい高清浄度無塵室でも検査時間の短縮化を実現して生産性の向上を図ることを目的とする。【構成】 無塵室内の半導体ウェーハ表面に付着する異物微粒子の数と大きさとを測定して評価する測定・評価部11と、そこで得られたデータを出力する出力部12、およびその双方に繋がる制御部13′と操作部14′とを具えて無塵室の塵埃度管理に使用される無塵室内ウェーハ表面検査装置であって、測定・評価部11が、平面的に載置された半導体ウェーハ17の表面に無塵室エアを吹きつけた後該エアを清浄化して放出する手段と該半導体ウェーハ17に所定の電位を印加する手段とを持つウェーハ載置板21a を具えて上記制御部13′と操作部14′とに繋がる微粒子付着部領域21を、無塵室と該測定・評価部11との間に具えて構成する。

請求項（抜粋）：

平面的に置かれた無塵室内の半導体ウェーハ表面に付着する異物微粒子の数と大きさとを測定して評価する測定・評価部(11)と、該測定・評価部(11)で得られたデータを出力する出力部(12)、およびその双方に繋がる制御部 (13′) と操作部 (14′) とを具えて無塵室の塵埃度管理に使用される無塵室内ウェーハ表面検査装置であって、測定・評価部(11)が、平面的に載置された半導体ウェーハ(17)の表面に無塵室エアを吹きつけた後該エアを清浄化して放出する手段と該半導体ウェーハ(17)に所定の電位を印加する手段とを持つウェーハ載置板(21a) を具えて上記制御部 (13′) と操作部 (14′) とに繋がる微粒子付着部領域(21)を、少なくとも無塵室と該測定・評価部(11)との間に具えて構成されていることを特徴とした無塵室内ウェーハ表面検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/88 ,  G01R 31/26 ,  H01L 21/66

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭60-157684
  
• 特開昭62-220842