特許
J-GLOBAL ID:200903062384464212
傾きセンサ装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (6件):
棚井 澄雄
, 志賀 正武
, 青山 正和
, 鈴木 三義
, 高柴 忠夫
, 上田 邦生
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-308428
公開番号(公開出願番号):特開2004-144902
出願日: 2002年10月23日
公開日(公表日): 2004年05月20日
要約:
【課題】高精度かつ小型で検出範囲が広く、2次元方向の光偏向素子の偏向角の検出を行うことができるとともに、光偏向子の安定した角度制御と小型化とを両立可能とする。【解決手段】光偏向素子2の偏向角を検出する傾きセンサ装置1であって、光偏向素子2に備えられた偏向角検出用反射面2aに向けて光を放射する光源3と、光源3からの光を透過し、偏向角検出用反射面2aからの反射光を偏向して分離する光路分離部材4と、光路分離部材4からの光を受光し、その受光位置により光偏向素子2の偏向角を検出する光検出器5と、光源3から光検出器5までの光路中に配置され、光束の周辺部を遮光する遮光部材6とを備える傾きセンサ装置1を提供する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
光偏向素子の偏向角を検出する傾きセンサ装置であって、
前記光偏向素子に備えられた偏向角検出用反射面に向けて光を放射する光源と、
該光源からの光を透過し、前記偏向角検出用反射面からの反射光を偏向して分離する光路分離部材と、
該光路分離部材からの光を受光し、その受光位置により前記光偏向素子の偏向角を検出する光検出器と、
前記光源から前記光検出器までの光路中に配置され、光束の周辺部を遮光する遮光部材とを備える傾きセンサ装置。
IPC (4件):
G02B26/08
, G01B11/26
, G02B5/00
, G02B27/28
FI (4件):
G02B26/08 E
, G01B11/26 Z
, G02B5/00 B
, G02B27/28 Z
Fターム (27件):
2F065AA35
, 2F065BB25
, 2F065CC21
, 2F065DD02
, 2F065FF43
, 2F065GG06
, 2F065GG12
, 2F065HH08
, 2F065HH13
, 2F065JJ09
, 2F065JJ16
, 2F065JJ22
, 2F065LL30
, 2F065LL36
, 2F065LL37
, 2F065QQ28
, 2H041AA14
, 2H041AB14
, 2H041AZ03
, 2H041AZ06
, 2H042AA01
, 2H042AA15
, 2H042AA23
, 2H099AA00
, 2H099BA17
, 2H099CA05
, 2H099DA00
引用特許:
審査官引用 (6件)
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微小回転角センサを用いた装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-345443
出願人:株式会社日立製作所
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ガルバノミラーの偏向角検出装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-327023
出願人:旭光学工業株式会社
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特開平4-063057
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特開平4-002428
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位置検出方法及び装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-202073
出願人:キヤノン株式会社
-
スキャナシステム
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-203319
出願人:オリンパス光学工業株式会社
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