特許

J-GLOBAL ID：200903062394619311

半導体装置およびその製造方法

発明者： 久本 大
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-194921
公開番号（公開出願番号）：特開2002-009015
出願日： 2000年06月23日
公開日（公表日）： 2002年01月11日
要約：

【要約】【課題】 N型MOSFETとP型MOSFETとで異なる構造を持った引き出し電極層を用いた寄生抵抗の小さなCMOSを形成する。【解決手段】 N型領域とP型領域に対して、それぞれ好適なコンタクト特性を持つ、異なる材質、構造を持った引き出し電極層を形成し、該引き出し電極層を介して金属配線に電気的に接続させる。例えば、オーミック性コンタクトのとれる金属材料の少ないN型領域には、堆積時に高濃度不純物をドーピングした多結晶シリコンを用い、P型にはオーミック性コンタクトをとれる金属材料を用いて引き出し電極層を形成する。これにより、抵抗の小さな引き出し電極層を持ったCMOSを形成することができる。

請求項（抜粋）：

N型半導体領域とP型半導体領域とを一主表面に有する半導体本体、上記半導体本体の上記主表面を被覆する絶縁層、上記絶縁層に設けられ上記N型半導体領域及び上記P型半導体領域の表面にそれぞれ達する第1開口部及び第2開口部、上記第1開口部の底部で上記N型半導体領域に接し上記第1開口部の底面及び側面に堆積されたN型不純物を含有する多結晶半導体膜、上記多結晶半導体膜の上に堆積され上記第1開口部内に埋め込まれた第1金属層、及び上記第2開口部の底部で上記P型半導体領域に接し上記第2開口部内に埋め込まれた第2金属層とからなることを特徴とする半導体装置。

IPC (8件)：

H01L 21/28 301 ,  H01L 21/768 ,  H01L 21/8238 ,  H01L 27/092 ,  H01L 27/08 331 ,  H01L 29/78 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/336

FI (8件)：

H01L 21/28 301 A ,  H01L 27/08 331 E ,  H01L 21/90 C ,  H01L 27/08 321 F ,  H01L 29/78 301 X ,  H01L 29/78 616 K ,  H01L 29/78 616 V ,  H01L 29/78 616 U

Fターム (120件)：

4M104AA01 ,  4M104AA09 ,  4M104BB01 ,  4M104BB05 ,  4M104BB06 ,  4M104BB40 ,  4M104CC01 ,  4M104DD04 ,  4M104DD16 ,  4M104DD37 ,  4M104DD43 ,  4M104DD55 ,  4M104DD80 ,  4M104EE09 ,  4M104FF14 ,  4M104FF16 ,  4M104FF22 ,  4M104GG09 ,  4M104GG10 ,  4M104GG14 ,  4M104HH15 ,  4M104HH16 ,  5F033HH04 ,  5F033HH08 ,  5F033HH11 ,  5F033HH19 ,  5F033HH33 ,  5F033HH34 ,  5F033JJ04 ,  5F033JJ07 ,  5F033JJ19 ,  5F033JJ33 ,  5F033JJ34 ,  5F033KK01 ,  5F033KK04 ,  5F033KK28 ,  5F033MM07 ,  5F033MM13 ,  5F033NN06 ,  5F033NN07 ,  5F033NN40 ,  5F033PP09 ,  5F033PP15 ,  5F033QQ16 ,  5F033QQ37 ,  5F033QQ48 ,  5F033QQ58 ,  5F033QQ65 ,  5F033QQ73 ,  5F033QQ82 ,  5F033RR04 ,  5F033SS11 ,  5F033TT08 ,  5F033XX09 ,  5F040DA02 ,  5F040DA10 ,  5F040DB03 ,  5F040DC01 ,  5F040EB12 ,  5F040EC01 ,  5F040EC07 ,  5F040EC13 ,  5F040EH01 ,  5F040EH02 ,  5F040EH03 ,  5F040EH07 ,  5F040EK05 ,  5F040FA03 ,  5F040FA05 ,  5F040FC10 ,  5F040FC19 ,  5F040FC21 ,  5F048AA07 ,  5F048AC03 ,  5F048AC04 ,  5F048BA01 ,  5F048BA16 ,  5F048BB05 ,  5F048BB08 ,  5F048BB11 ,  5F048BB12 ,  5F048BF02 ,  5F048BF04 ,  5F048BF07 ,  5F048BG01 ,  5F048BG12 ,  5F048BG13 ,  5F048DA25 ,  5F110AA30 ,  5F110BB04 ,  5F110CC02 ,  5F110DD05 ,  5F110DD13 ,  5F110EE01 ,  5F110EE04 ,  5F110EE05 ,  5F110EE08 ,  5F110EE09 ,  5F110EE14 ,  5F110EE32 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110GG02 ,  5F110GG12 ,  5F110GG25 ,  5F110HJ01 ,  5F110HJ04 ,  5F110HJ23 ,  5F110HL02 ,  5F110HL03 ,  5F110HL04 ,  5F110HL08 ,  5F110HL11 ,  5F110NN04 ,  5F110NN23 ,  5F110NN35 ,  5F110NN62 ,  5F110NN65 ,  5F110NN66 ,  5F110QQ19