特許

J-GLOBAL ID：200903062396037760

ナノクラスター解析用高質量分析装置

発明者： 隅山 兼治 ,  日原 岳彦 ,  齋藤 建勇 ,  二村 智行
出願人/特許権者： 科学技術振興事業団 ,  株式会社日本ビーテック
代理人 (1件)： 北條 和由
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-194087
公開番号（公開出願番号）：特開2001-023563
出願日： 1999年07月08日
公開日（公表日）： 2001年01月26日
要約：

【要約】【課題】 粒径が十数nm程度のサイズが大きいクラスターでも、容易に質量(サイズ)の分析を可能とする。【解決手段】 ナノクラスター解析用高質量分析装置は、所定の方向から飛来するイオンクラスターの軌道をその飛来方向に対して直交する方向に加速度を与える第一の偏向電極30、31と、この第一の偏向電極30、31で偏向されたイオンクラスターに前記飛来方向と逆方向に加速度を与える第二の偏向電極32、33と、この第二の偏向電極32、33で軌道が変えられたイオンクラスターを検出するコレクター36とを備える。コレクター36としてはマイクロチャンネルプレートが使用される。

請求項（抜粋）：

イオンクラスターの質量を分析する装置において、所定の方向から飛来するイオンクラスターの軌道をその飛来方向に対して直交する方向に加速度を与える第一の偏向電極(30)、(31)と、この第一の偏向電極30、31で偏向されたイオンクラスターに前記飛来方向と逆方向に加速度を与える第二の偏向電極(32)、(33)と、この第二の偏向電極(32)、(33)で軌道が曲げられたイオンクラスターを検出するナノクラスター解析用高質量分析装置。

IPC (4件)：

H01J 49/28 ,  G01N 27/62 ,  H01J 49/06 ,  H01J 49/22

FI (4件)：

H01J 49/28 ,  G01N 27/62 E ,  H01J 49/06 ,  H01J 49/22

Fターム (4件)：

5C038FF04 ,  5C038FF10 ,  5C038HH06 ,  5C038HH18