特許
J-GLOBAL ID：200903062402992744
超純水の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
重野 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-108217
公開番号（公開出願番号）：特開平7-313994
出願日： 1994年05月23日
公開日（公表日）： 1995年12月05日
要約：
【要約】【目的】 半導体洗浄回収水と工業用水とを原水として超純水を製造する方法において、回収水中のNH4+による尿素の分解阻害を防止する。【構成】 工業用水と、超純水による半導体洗浄回収水とを混合することなく別々に生物処理した後混合し、一次純水製造装置及び二次純水製造装置に通水する。【効果】 工業用水系生物処理装置では、安定して尿素分解が可能となり、一方、回収水系生物処理装置では安定してアルコール、ケトン類の分解が可能となる。回収水系生物処理装置の処理水中に含有されるNH4+や、工業用水系生物処理装置の処理水中に含有されるCa2+,Na+ ,K+ ,Cl- といったイオン類は、後段の一次純水製造装置のイオン交換純水装置又は逆浸透膜分離装置により効率良く除去され、超純水システムとして安定した処理水質を得ることができる。
請求項（抜粋）：
工業用水と、超純水による半導体洗浄回収水とを混合することなく別々に生物処理した後混合し、一次純水製造装置及び二次純水製造装置に通水することを特徴とする超純水の製造方法。
IPC (6件)：
C02F 9/00 503
, C02F 9/00 501
, C02F 9/00 502
, C02F 9/00 504
, C02F 1/42
, C02F 1/44
