特許

J-GLOBAL ID：200903062404872843

半導体特性検査装置

発明者： 田中 謙吾
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 三好 秀和 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-278154
公開番号（公開出願番号）：特開平10-123209
出願日： 1996年10月21日
公開日（公表日）： 1998年05月15日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、半導体素子の特性検査を行う場合に、半導体素子の収納および搬送を効率的に処理することができ、特性値の再現性の高い半導体特性検査装置を提供することにある。【解決手段】 FET素子4が搭載された複数のトレイ2を収納しているマガジン6からトレイ2を1枚づつ送り出し、送り出されたトレイ2をテーブル上に固定してトレイ2を搬送する。次に、搬送されたトレイ2から特性検査すべきFET素子4を吸着して搬送し、搬送されたFET素子4を特性検査する前に位置決めを行う。次に、位置決めされた後に、FET素子4の電気的特性を検査する。ここで、検査終了後には、検査終了したFET素子4が搭載されていた同一トレイ2の同一位置に戻し、このトレイ2が収納されていた同一マガジン6の同一位置に戻すように動作する。

請求項（抜粋）：

半導体素子が搭載された複数のトレイを収納しているマガジンからトレイを1枚づつ送り出すマガジンローダ部と、該マガジンローダ部から送り出されたトレイをテーブル上に固定してトレイを搬送するトレイテーブル部と、該トレイテーブル部で搬送されたトレイから特性検査すべき半導体素子を吸着して搬送する半導体搬送部と、該半導体搬送部で搬送された半導体素子を特性検査する前に位置決めを行う半導体ゲージ部と、該半導体ゲージ部で位置決めされた後に、半導体素子の電気的特性を検査する半導体特性検査部と、を備え、前記半導体特性検査部の検査終了後には、前記半導体搬送部は検査終了した半導体素子を該半導体素子が搭載されていた同一トレイの同一位置に戻し、前記トレイテーブル部は該トレイが収納されていた同一マガジンの同一位置に戻すように動作することを特徴とする半導体特性検査装置。