誘電体材料製品の内部品質評価装置および評価方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：松浦孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-101962
公開番号（公開出願番号）：特開平11-281591
出願日： 1998年03月30日
公開日（公表日）： 1999年10月15日
要約：

【要約】【課題】誘電体材料製品の内部品質を非破壊で、的確かつ定量的に評価する。【解決手段】内部品質評価装置は2つの基台20、22を備える。第1の基台20に被検査体10を載置する。第2の基台22にセンサ支持部材24を取り付ける。被検査体10の上方にセンサ30を設ける。センサ30はセンサ支持部材24に支持される同軸コネクタ35と金属フランジ34とを備える。パーソナルコンピュータ40は2つの基台20、22を駆動し、被検査体10に対するセンサ30の相対位置を決定する。マイクロ波制御装置36はセンサ30およびケーブル32を介してマイクロ波を送受信する。マイクロ波制御装置36は受信したマイクロ波の振幅および(または)位相を検出し、パーソナルコンピュータ40に送出する。パーソナルコンピュータ40において、振幅および(または)位相に基づいて、被検査体10の内部を画像化する。

請求項（抜粋）：

誘電体材料製品である被検査体の内部を非破壊で検査する内部品質評価装置であって、前記被検査体に向かってマイクロ波を送信し、前記被検査体側から反射されたあるいは前記被検査体を透過したマイクロ波を受信する送受信手段と、前記被検査体および前記送受信手段を支持する基台と、前記基台を駆動することにより、前記被検査体に対する前記送受信手段の相対位置を制御する制御手段と、前記送受信手段にマイクロ波を供給する供給手段と、前記被検査体の内部または裏面の異材によって反射したマイクロ波である反射波あるいは前記被検査体を透過したマイクロ波である透過波を、前記送受信手段を介して受信し、これら反射波あるいは透過波の振幅および(または)位相を検出する検出手段と、前記被検査体に対する前記送受信手段の相対位置と、前記振幅および(または)前記位相のデータに基づいて、前記被検査体の内部品質の評価を行う評価手段とを備えることを特徴とする内部品質評価装置。

IPC (2件)：

G01N 22/00 , G01N 22/02

FI (5件)：

G01N 22/00 S , G01N 22/00 L , G01N 22/00 W , G01N 22/00 X , G01N 22/02 C

引用特許：

審査官引用 (4件)

プリント配線基板検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-231474 出願人：株式会社ヨコオ
マイクロ波イメージング装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-279889 出願人：三井造船株式会社
特開昭62-066145

全件表示

前のページに戻る