特許

J-GLOBAL ID：200903062414110178

フッ素樹脂表面改質用装置

発明者： 遠藤 正雄 ,  長瀬 智洋
出願人/特許権者： 倉敷紡績株式会社
代理人 (1件)： 青山 葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-331322
公開番号（公開出願番号）：特開平7-188437
出願日： 1993年12月27日
公開日（公表日）： 1995年07月25日
要約：

【要約】【目的】 フッ素樹脂表面に紫外レーザー光を均一に効率良く照射することによる該表面の低コストで均一な改質を可能にする装置を提供する。【構成】 紫外レーザー光発生装置、該紫外レーザー光発生装置から射出される紫外レーザー光を集束させる集束レンズ、集束された紫外レーザー光を反射偏向させる偏向鏡および反射偏向された紫外レーザー光が被処理フッ素樹脂表面上を一様に走査するように該偏向鏡を回転駆動させる駆動手段から成る紫外レーザー光照射機構並びに該フッ素樹脂を制御下で搬送するための搬送機構を具備するフッ素樹脂表面改質用装置。

請求項（抜粋）：

紫外レーザー光発生装置(1)、該紫外レーザー光発生装置(1)から射出される紫外レーザー光を集束させる集束レンズ(2)、集束された紫外レーザー光を反射偏向させる偏向鏡(3)および反射偏向された紫外レーザー光が被処理フッ素樹脂(5)表面上を一様に走査するように該偏向鏡(3)を回転駆動させる駆動手段(4)から成る紫外レーザー光照射機構並びに該フッ素樹脂を制御下で搬送するための搬送機構(6、7、8)を具備するフッ素樹脂表面改質用装置。

IPC (3件)：

C08J 7/00 305 ,  C08J 7/00 CEW ,  H01L 21/268

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 親水性フッ素系フィルム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-154032   出願人：グンゼ株式会社
• 特開平4-236241