感光性樹脂組成物

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-298504
公開番号（公開出願番号）：特開2008-116598
出願日： 2006年11月02日
公開日（公表日）： 2008年05月22日
要約：

【課題】LSIチップのバッファコート材料や再配線層として好適な、平坦化能、低応力性、低温キュア性に優れると同時に、露光する前の材料のタック性が改善された感光性シリコーンを含む樹脂組成物並びにそれを用いた感光性樹脂絶縁膜、キュア膜を提供する。【解決手段】感光性の置換基を有する特定構造のポリオルガノシロキサン、摂氏20°Cで固体状のシリコーン及び光重合開始剤を特定の割合で含有する感光性樹脂組成物を用いる。もしくは感光性の置換基を有する特定構造のポリオルガノシロキサンと、摂氏20°Cで固体状のシラノールを有するシリコーンを特定の割合で縮合して得られた感光性樹脂及び光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物を用いる。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

下記(a)、(b)及び(c)成分を含む感光性樹脂組成物。 (a)下記一般式(1)で示される、少なくとも1種のシラノール化合物、及び、下記一般式(2)で示される、少なくとも1種のアルコキシシラン化合物を、(1)/(2)=40mol%/60mol%〜60mol%/40mol%の範囲の割合で、触媒の存在下、積極的に水を添加することなく縮合させる方法で得られる、ポリオルガノシロキサン:100質量部。

IPC (4件)：

G03F 7/075 , G03F 7/40 , H01L 21/027 , C08F 290/00

FI (4件)：

G03F7/075 511 , G03F7/40 501 , H01L21/30 502R , C08F290/00

Fターム (67件)：

2H025AA20 , 2H025AB15 , 2H025AB16 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC78 , 2H025CC08 , 2H025FA17 , 2H025FA29 , 2H096AA25 , 2H096AA26 , 2H096BA06 , 2H096EA02 , 2H096GA09 , 2H096HA01 , 2H096JA04 , 4J127AA03 , 4J127AA04 , 4J127BA151 , 4J127BB041 , 4J127BB081 , 4J127BB221 , 4J127BC031 , 4J127BC151 , 4J127BD291 , 4J127BD331 , 4J127BE59Y , 4J127BE591 , 4J127BF72Y , 4J127BF721 , 4J127BF78Y , 4J127BF781 , 4J127BG05Y , 4J127BG051 , 4J127BG17Y , 4J127BG171 , 4J127BG38Y , 4J127BG381 , 4J127BG39Y , 4J127BG391 , 4J127CB151 , 4J127CC391 , 4J127DA57 , 4J127FA17 , 4J127FA37 , 4J127FA38 , 4J246AA02 , 4J246AB02 , 4J246AB13 , 4J246BA04X , 4J246BA040 , 4J246BA14X , 4J246BA140 , 4J246BB02X , 4J246BB020 , 4J246CA12X , 4J246CA120 , 4J246CA24X , 4J246CA240 , 4J246CA40X , 4J246CA400 , 4J246CA65X , 4J246CA650 , 4J246FA021 , 4J246FC141 , 4J246HA15 , 4J246HA63

引用特許：

出願人引用 (1件)

カナダ国特許第2378756号公報

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