特許
J-GLOBAL ID：200903062430659724
タンタルの表面処理方法およびそれを用いたタンタル固体電解コンデンサの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-094022
公開番号（公開出願番号）：特開平5-287540
出願日： 1992年04月14日
公開日（公表日）： 1993年11月02日
要約：
【要約】【目的】 本発明はタンタルの表面処理方法およびそれを用いたタンタル固体電解コンデンサの製造方法に関するものであり、金属タンタルの表面に形成されている酸化タンタルに無電解めっきの触媒性がないため、パラジウムなどの触媒層を設けた後にめっき膜を形成して、金属タンタルとめっき膜の間に酸化タンタル層および触媒層が介在するため、めっき膜の密着性が低いという問題点を解決し、密着性の高い無電解めっき膜の得られるタンタルの表面処理方法を提供することを目的とする。【構成】 この目的を達成するために本発明のタンタルの表面処理方法は、タンタルをアルカリ溶液でエッチング処理することにより、表面に形成されている酸化タンタル層16を除去し、無電解めっきの触媒性を有する金属タンタル層17を表出させた後、無電解めっき液に浸漬し、めっき膜18を形成するものである。この構成によって、金属タンタル層17とめっき膜18の間には触媒層および酸化タンタル層が存在しないため両者の密着強度が高くなる。
請求項（抜粋）：
金属タンタルをアルカリ溶液でエッチング処理した後、直接無電解めっき液に浸漬して、無電解めっき膜を形成するタンタルの表面処理方法。
IPC (3件)：
C23C 18/18
, C23C 18/36
, H01G 9/05
