特許
J-GLOBAL ID：200903062430738330
干渉縞検出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-142572
公開番号（公開出願番号）：特開平10-332328
出願日： 1997年05月30日
公開日（公表日）： 1998年12月18日
要約：
【要約】【課題】 高速でかつ高精度に干渉縞間の位相を読み取れる干渉縞検出装置を提供することにある。【解決手段】 干渉縞を入射する光強度の重心位置により検出する受光素子を有し、前記受光素子の受光面の長さを干渉縞間隔と一致するかまたは干渉縞間隔のほぼ整数倍となるような構成とした。
請求項（抜粋）：
干渉縞により物体の相対移動量を検出する干渉縞検出装置であって、前記干渉縞検出装置は干渉縞を入射する光強度の重心位置により検出する受光素子を有し、前記受光素子の受光面の長さを干渉縞間隔と一致するかまたは干渉縞間隔のほぼ整数倍となるようにしたことを特徴とする干渉縞検出装置。
FI (2件)：
G01B 11/00 G
, G01B 11/00 F
