テーブル装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田辺恵基
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-176106
公開番号（公開出願番号）：特開平5-343281
出願日： 1992年06月09日
公開日（公表日）： 1993年12月24日
要約：

【要約】【目的】所定のパターンが形成されたマスクのパターンを被露光基板上に転写するコンタクト方式またはプロキシミテイ方式の露光装置の、被露光基板を載置するテーブル装置において、一段と小さな駆動力によつて被露光基板をマスクから引き離すようにする。【構成】被露光基板20を載置する保持台7をその一端から徐々にマスク21から引き離すべく傾斜させるようにしたことにより、被露光基板20を一段と小さな力でマスク21から離間させることができる。

請求項（抜粋）：

所定のパターンが形成されたマスクの上記パターンを被露光基板上に転写するコンタクト方式またはプロキシミテイ方式の露光装置の、上記被露光基板を載置するテーブル装置において、上記被露光基板を載置する保持台と、上記保持台の端部を回動軸によつて回動自在に枢支する支持台と、上記保持台を上記回動軸を中心として上記マスクと反対の方向に回動する駆動手段とを具えることを特徴とするテーブル装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 521 , H01L 21/68

FI (2件)：

H01L 21/30 311 A , H01L 21/30 311 G

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