特許

J-GLOBAL ID：200903062450535312

画像表示パネルの製造方法および現像装置

発明者： 河野 正治
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-283295
公開番号（公開出願番号）：特開2003-091077
出願日： 2001年09月18日
公開日（公表日）： 2003年03月28日
要約：

【要約】【課題】 現像工程において不溶解膜を洗い落とすことを防止しつつ、本来現像されるべき溶解部分をほぼ完全に除去し、レジスト残り不良、カブリ不良等の問題を解決する。【解決手段】 ガラスパネル11の表面に蛍光体膜12を形成する工程と、蛍光体膜12を露光する工程と、現像液13を用いて蛍光体膜12の露光部または未露光部を除去する現像工程とを含み、現像工程は、現像液配管15中に設けられた気体混入装置19において気体を混入させた現像液13によって蛍光体膜12の露光部または未露光部を除去するものである。

請求項（抜粋）：

画像表示パネルの表面に蛍光体膜または電極を形成する方法であって、前記画像表示パネルの表面に膜を形成する工程と、前記膜を露光する工程と、現像液を用いて前記膜の露光部または未露光部を除去する現像工程とを含み、前記現像工程は、気体を混入させた前記現像液によって前記膜の露光部または未露光部を除去するものであることを特徴とする画像表示パネルの製造方法。

IPC (3件)：

G03F 7/32 ,  G03F 7/30 501 ,  H01J 9/227

FI (3件)：

G03F 7/32 ,  G03F 7/30 501 ,  H01J 9/227 C

Fターム (5件)：

2H096AA28 ,  2H096GA01 ,  2H096GA21 ,  2H096GA60 ,  5C028HH07