特許
J-GLOBAL ID：200903062452701015
マスク保護装置の収納ケース
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 晃一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-006892
公開番号（公開出願番号）：特開平8-198377
出願日： 1995年01月20日
公開日（公表日）： 1996年08月06日
要約：
【要約】【目 的】 ペリクルを納める収納ケースに導電性を持たせてペリクル膜の帯電量を小さくし、膜面への異物の付着を少なくする。【構 成】 ペリクルが装着される底蓋と、上蓋よりなる収納ケースにおいて、底蓋をセラミック繊維を混入したポリプロピレン樹脂、上蓋を導電性樹脂で成形し、各樹脂の表面固有抵抗を1013Ω以下とする。
請求項（抜粋）：
ペリクルが装着される底蓋と、底蓋に着脱可能に取着される上蓋とよりなるペリクルの収納ケースにおいて、上蓋と底蓋のうち、少なくとも底蓋の表面固有抵抗を1013Ω以下の樹脂で構成したことを特徴とする収納ケース。
IPC (3件)：
B65D 85/86
, A62B 18/02
, H01L 21/68
