特許
J-GLOBAL ID：200903062455835373
走査型力顕微鏡の変位検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田宮 寛祉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-046242
公開番号（公開出願番号）：特開平8-220114
出願日： 1995年02月09日
公開日（公表日）： 1996年08月30日
要約：
【要約】【目的】 光てこ方式の走査型力顕微鏡において、簡単な構造で、高い倍率の対物レンズを用いて試料表面とカンチレバーを同時に観察できるようにする。【構成】 試料32に対向する探針18を先部に備えたカンチレバー12と、このカンチレバーにレーザ光15を照射するレーザ光源13と、カンチレバーで反射されたレーザ光を受光する光検出器14と、試料の表面とカンチレバーの背面を観察し得る光学顕微鏡31を備え、レーザ光源と光検出器を、カンチレバーのたわみ動作方向を含む平面以外の箇所に配置するように構成される。好ましくは、カンチレバーのたわみ動作方向を含む平面に直交する平面内に配置される。
請求項（抜粋）：
試料に対向する探針を先部に備えたカンチレバーと、このカンチレバーにレーザ光を照射するレーザ光源と、前記カンチレバーで反射された前記レーザ光を受光する光検出器と、前記試料の表面と前記カンチレバーの背面を観察し得る光学顕微鏡を備える走査型力顕微鏡の変位検出装置において、前記レーザ光源と前記光検出器を、前記カンチレバーのたわみ動作方向を含む平面以外の箇所に配置したことを特徴とする走査型力顕微鏡の変位検出装置。
IPC (3件)：
G01N 37/00
, G01B 21/30
, H01J 37/28
G01N 37/00 F
, G01B 21/30 Z
, H01J 37/28 Z
