特許
J-GLOBAL ID：200903062464268228
ポジ型感放射線性樹脂組成物及びそれから得られる転写パターン
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-085212
公開番号（公開出願番号）：特開平6-273933
出願日： 1993年03月22日
公開日（公表日）： 1994年09月30日
要約：
【要約】【構成】放射線にさらされた時に酸を生じる酸発生剤を含有する化学増幅系ポジ型感放射線性樹脂組成物において、更にエポキシプロピル基あるいはエポキシ基を有する化合物を含有するポジ型感放射線性樹脂組成物を調製し、これを溶媒に溶解して感光液とする。この感光液をシリコンウェハーもしくはクロム蒸着板のような基板上に塗布し、次に70〜130°Cの温度でベークすることにより乾燥させた後、遠紫外線、電子線等の放射線を照射し、更に70〜130°Cの温度で加熱し、次いでアルカリ水溶液で現像処理することにより転写パターンを得る。【効果】本発明のポジ型感放射線性樹脂組成物は、放射線に対する感度が高く、且つ放射線照射後加熱処理迄の安定性が高く、この組成物を用いてえられた転写パターンは膨潤がなく解像度に優れ、更にドライエッチング耐性及び耐熱性に優れる。
請求項（抜粋）：
放射線にさらされた時に酸を生じる酸発生剤を含有する化学増幅系ポジ型感放射線性樹脂組成物において、その組成物がエポキシプロピル基あるいはエポキシ基を有する化合物を含有することを特徴とするポジ型感放射線性樹脂組成物
IPC (4件)：
G03F 7/039 501
, G03F 7/027 515
, G03F 7/028
, H01L 21/027
