特許
J-GLOBAL ID:200903062464305948
2メタル基板とBGA構造
発明者:
,
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-088512
公開番号(公開出願番号):特開2001-274203
出願日: 2000年03月24日
公開日(公表日): 2001年10月05日
要約:
【要約】【課題】ブラインドビアホールの穴埋め加工を行うことにより製造工程を減少させ、生産性及び信頼性を高めた2メタル基板とBGAの構造を提供することにある。【解決手段】接着剤層無しの両面銅被覆積層板を構成する銅箔1/ベース材2/銅箔4の構成の片面側の銅箔表面よりレーザ光7でブラインドビアホール17を形成し、このブラインドビアホール17にCuめっき13を施して導通化した2メタル基板において、前記ブラインドビアホール17の開口部分のみを、前記Cuめっき13後に、順次Niめっき18及びAuめっき8して、ブラインドビアホール17を穴埋する。
請求項(抜粋):
接着剤層無しの両面銅被覆積層板を構成する銅箔/ベース材/銅箔構成の片面側の銅箔表面よりレーザ光でブラインドビアホールを形成し、このブラインドビアホールに銅めっきを施して導通化した2メタル基板において、前記ブラインドビアホールの開口部分のみを、前記Cuめっき後に、順次Niめっき及びAuめっきして、前記ブラインドビアホールを穴埋めしたことを特徴とする2メタル基板。
IPC (7件):
H01L 21/60 311
, H01L 23/12
, H05K 1/03 610
, H05K 1/03
, H05K 1/11
, H05K 3/00
, H05K 3/34 505
FI (8件):
H01L 21/60 311 W
, H05K 1/03 610 N
, H05K 1/03 610 H
, H05K 1/03 610 L
, H05K 1/11 H
, H05K 3/00 N
, H05K 3/34 505 A
, H01L 23/12 Q
Fターム (20件):
5E317AA24
, 5E317BB01
, 5E317BB12
, 5E317BB13
, 5E317BB15
, 5E317CC25
, 5E317CC31
, 5E317CC52
, 5E317CD32
, 5E317GG16
, 5E319AA03
, 5E319AA07
, 5E319AB05
, 5E319CC22
, 5F044MM04
, 5F044MM08
, 5F044NN08
, 5F044NN09
, 5F044NN18
, 5F044RR18
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