特許

J-GLOBAL ID：200903062464884719

走査型近接場光学顕微鏡

発明者： 山口 光城
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-205178
公開番号（公開出願番号）：特開2002-022640
出願日： 2000年07月06日
公開日（公表日）： 2002年01月23日
要約：

【要約】【課題】本発明は、SNOM像と一緒にAFM像も得られるように改良された走査型近接場光学顕微鏡を提供することを目的とする。【解決手段】本発明の一態様によると、被検体に光を照射する手段と、前記被検体と一定の距離を保ち走査をする粒子状プローブと、前記被検体からの近接場光の強度を検出する手段とを有する走査型光学顕微鏡であり、前記粒子状プローブからの近接場光を検出することにより、前記粒子状プローブの位置を検出するプローブ位置検出手段を設けたことを特徴とする走査型近接場光学顕微鏡が提供される。

請求項（抜粋）：

被検体に光を照射する手段と、前記被検体と一定の距離を保ち走査をする粒子状プローブと、前記被検体からの近接場光の強度を検出する手段とを有する走査型光学顕微鏡であり、前記粒子状プローブからの近接場光を検出することにより、前記粒子状プローブの位置を検出するプローブ位置検出手段を設けたことを特徴とする走査型近接場光学顕微鏡。

IPC (4件)：

G01N 13/14 ,  G01B 11/00 ,  G02B 21/00 ,  G12B 21/06

FI (5件)：

G01N 13/14 B ,  G01N 13/14 A ,  G01B 11/00 C ,  G02B 21/00 ,  G12B 1/00 601 C

Fターム (15件)：

2F065AA07 ,  2F065CC00 ,  2F065FF41 ,  2F065GG04 ,  2F065JJ05 ,  2F065LL46 ,  2F065MM03 ,  2F065PP12 ,  2F065PP24 ,  2F065QQ25 ,  2H052AA07 ,  2H052AC04 ,  2H052AD09 ,  2H052AD20 ,  2H052AF02