特許

J-GLOBAL ID：200903062465181622

研磨布

発明者： 羽場 真一 ,  伊藤 栄直 ,  松村 進一 ,  森上 忠雄
出願人/特許権者： ロデール・ニッタ株式会社
代理人 (1件)： 山本 秀策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-012326
公開番号（公開出願番号）：特開2001-198797
出願日： 2000年01月20日
公開日（公表日）： 2001年07月24日
要約：

【要約】【課題】 研磨加工時に使用する研磨布自体の長寿命化を図り、研磨対象物へのスクラッチ等を減少させ、平坦性を向上させる研磨布を提供すること。【解決手段】 本発明の研磨布は、不織布に樹脂を付着させて形成される研磨布であって、硬度がアスカーCで80〜90、圧縮率が2.0〜4.0%、通気性がAPR値で20〜60mmH2Oである。

請求項（抜粋）：

研磨布基体に樹脂を付着させて形成される研磨布であって、硬度がアスカーCで80〜90、圧縮率が2.0〜4.0%、通気性がAPR値で20〜60mmH2Oである研磨布。

IPC (2件)：

B24B 37/00 ,  H01L 21/304 622

FI (2件)：

B24B 37/00 C ,  H01L 21/304 622 F

Fターム (6件)：

3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058BC02 ,  3C058CB01 ,  3C058CB03 ,  3C058DA17