特許
J-GLOBAL ID：200903062470740311
光学素子に目標の変形を与える方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (8件)：
鈴江 武彦
, 河野 哲
, 中村 誠
, 蔵田 昌俊
, 峰 隆司
, 福原 淑弘
, 村松 貞男
, 橋本 良郎
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-505807
公開番号（公開出願番号）：特表2005-526388
出願日： 2003年05月15日
公開日（公表日）： 2005年09月02日
要約：
本発明は、光学系(1)に配置された光学素子、特にミラー(2a, 2b, 2c, 2d, 2e, 2f)に目標の変形を与えるための方法に関する。この光学素子(2a, 2b, 2c, 2d, 2e, 2f)または、または、この光学素子(2a, 2b, 2c, 2d, 2e, 2f)が装着されるサポート要素(4)であって当該サポート要素(4)に加えられる力が前記光学素子自身の変形を生じさせるサポート要素(4)が、固定要素(5, 5a, 5b, 5c)により、直接にまたは連結部材(10)を介して、固定構造(6)に接続されている。前記光学素子(2a, 2b, 2c, 2d, 2e, 2f)の所望の変形は、前記固定要素(5, 5a, 5b, 5c)に目標変化量を与えることによって、固定プロセスにおいて前記光学素子(2a, 2b, 2c, 2d, 2e, 2f)または前記サポート要素(4)に加えられる力を修正し、および/または、力のモーメントの作用を修正し、および/または、固定要素(5, 5a, 5b, 5c)上の連結部材(10)のトルクを修正する。
請求項（抜粋）：
光学系の中に配置された光学素子に目標の変形を与えるための方法であって、
前記光学素子、または、前記光学素子が装着されるキャリア要素であって当該キャリア要素に加えられる力が前記光学素子自身の変形を生じさせるキャリア要素が、締め付け手段により、直接にまたは連結部材を介して、固定構造に接続されており、
当該方法は下記特徴を有する;
前記光学素子(2a, 2b, 2c, 2d, 2e, 2f)の所望の変形が、
締結のため前記光学素子(2a, 2b, 2c, 2d, 2e, 2f)または前記キャリア要素(4)に加えられる力を修正するために、前記締め付け手段(5, 5a, 5b, 5c)に目標変化量を与えることにより、
および/または、
前記連結部材(10)から前記締め付け手段(5, 5a, 5b, 5c)に作用する(on)力および/またはトルクの作用を修正するために、前記締め付け手段(5, 5a, 5b, 5c)に目標変化量を与えることにより、実現される。
IPC (4件)：
H01L21/027
, G02B7/198
, G02B17/00
, G03F7/20
H01L21/30 531A
, G02B17/00 Z
, G03F7/20 521
, H01L21/30 517
, G02B7/18 B
2H043BC00
, 2H087KA21
, 2H087NA09
, 2H087TA02
, 5F046BA05
, 5F046CB02
, 5F046CB20
, 5F046CB23
, 5F046CB24
, 5F046DA13
, 5F046GA03
, 5F046GA14
, 5F046GB01
