特許

J-GLOBAL ID：200903062471137422

レーザ装置及び該装置を備えた露光装置

発明者： 渋谷 眞人 ,  後藤 明弘
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-258123
公開番号（公開出願番号）：特開2001-085776
出願日： 1999年09月10日
公開日（公表日）： 2001年03月30日
要約：

【要約】【課題】 小型化でメンテナンスが容易であると共に、光量損失の少ないレーザ装置を提供する。【解決手段】 例えばDFB(Distributed feedback)レーザ等からの可視域から赤外域のレーザ光を分岐して、光ファイバー増幅器を有する複数の光増幅ユニットを用いて増幅して光ファイバー・バンドル19に束ねた後、非線形光学結晶502〜504を有する波長変換部20によって紫外域のレーザ光LB5に変換する。光ファイバー・バンドル19の出力端と非線形光学結晶502との間、及び後段の隣接する非線形光学結晶間にそれぞれアフォーカル光学系(501A,501B;505A,505B;506A,506B)を配置して、光ファイバー・バンドル19の出力端の光束の状態を最終段の非線形光学結晶504まで保持する。

請求項（抜粋）：

紫外光を発生するレーザ装置であって、赤外域から可視域までの波長範囲内のレーザ光を発生するレーザ光発生部と、該レーザ光発生部から発生されたレーザ光を増幅する光ファイバー増幅器を有する複数の光増幅部と、該複数の光増幅部を通過したレーザ光を伝送する複数の光ファイバーを束ねた光ファイバー・バンドルと、該光ファイバー・バンドルから射出されるレーザ光を紫外光に波長変換する一つ又は複数個の非線形光学材料と、アフォーカル光学系とを有する波長変換部と、を備えたことを特徴とするレーザ装置。

IPC (6件)：

H01S 3/23 ,  G02F 1/37 ,  G03F 7/20 505 ,  H01L 21/027 ,  H01S 3/06 ,  H01S 3/10

FI (6件)：

H01S 3/23 ,  G02F 1/37 ,  G03F 7/20 505 ,  H01S 3/06 B ,  H01S 3/10 Z ,  H01L 21/30 515 B

Fターム (32件)：

2H097BB02 ,  2H097CA06 ,  2H097CA17 ,  2H097GB01 ,  2H097LA10 ,  2H097LA12 ,  2K002AA04 ,  2K002AB12 ,  2K002BA02 ,  2K002BA03 ,  2K002CA02 ,  2K002DA01 ,  2K002HA19 ,  2K002HA20 ,  5F046BA04 ,  5F046BA05 ,  5F046CA04 ,  5F046CA05 ,  5F046CA08 ,  5F046CB04 ,  5F046CB22 ,  5F072AB09 ,  5F072AK06 ,  5F072JJ02 ,  5F072KK12 ,  5F072KK30 ,  5F072MM03 ,  5F072PP07 ,  5F072QQ02 ,  5F072QQ04 ,  5F072RR05 ,  5F072YY09