特許

J-GLOBAL ID：200903062479945552

複屈折の測定方法

発明者： 鈴木 清三
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 瀧野 秀雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-223192
公開番号（公開出願番号）：特開平7-077490
出願日： 1993年09月08日
公開日（公表日）： 1995年03月20日
要約：

【要約】【目的】プラスチックレンズ等の光学的異方性の大きい材料で構成される光学素子の複屈折を2次元的に定量的に測定する。【構成】レーザ光源1からのレーザ光束をビームエクスパンダ2で幅を拡げ、偏光子3で直線偏光にして、被検物4に照射する。被検物4を透過した光を検光子5を通してビームコンプレッサ6で集束し、エリアセンサ7で受光する。エリアセンサ7で検出した光学弾性干渉縞の光強度の2次元データを計算機8に取り込み、解析を行う。偏光子3と検光子5の互いの偏光面の成す角度を一定に保って、偏光子3と検光子5を同時に回転する。エリアセンサ7の2次元受光面の各画素において、偏光子3と検光子5回転角に応じて変化する光強度の極大値と極小値を求める。極大値と極小値の差に基づいて位相角を求め、位相各と波長に基づいて複屈折量を求める。

請求項（抜粋）：

偏光子により直線偏光に変換した光を透明被検物に入射し、該透明被検物を透過した光を検光子を通すことにより光弾性干渉縞を発生し、該光弾性干渉縞に基づいて前記透明被検物の複屈折の特徴量を計測する複屈折の測定方法であって、前記偏光子における偏光面と前記検光子における偏光面とが任意の角度を成すように該偏光子と検光子の相対位置を設定し、上記偏光面の成す角度を保持しながら上記偏光子と検光子とを前記透明被検物に対して相対的に光軸回りに同時に回転させ、該偏光子と検光子の回転に応じて発生する前記光弾性干渉縞の光強度の2次元データに基づいて、前記透明被検物の複屈折の特徴量を計測するようにしたことを特徴とする複屈折の測定方法。