走査型顕微鏡におけるリファレンス画像先読み機能

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：坂上正明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-110878
公開番号（公開出願番号）：特開2003-308803
出願日： 2002年04月12日
公開日（公表日）： 2003年10月31日
要約：

【要約】【課題】本発明の課題は、高倍率の欠陥観察画像を取得するため、リファレンス画像を撮り欠陥画像と比較してチップ座標系における正確な欠陥位置を自動抽出する機能を備えた電子顕微鏡において、チップ間移動回数を減少させて検査時間の短縮をはかることにある。【解決手段】本発明の電子顕微鏡システムは、欠陥検査装置の検査に基く欠陥位置情報において同一チップ内に複数の欠陥が存在する時は、隣接するチップにおいてすべての欠陥に対応するリファレンス画像を順次取得し、しかる後欠陥チップ上に顕微鏡視野を移し、欠陥画像取得と該欠陥画像と前記リファレンス画像との比較による欠陥位置抽出そして高倍率欠陥画像の取得を欠陥毎に順次実行するステップを踏むようにした。

請求項（抜粋）：

欠陥検査装置からの欠陥位置情報に基いて低倍率の欠陥画像と同領域に相当するリファレンス画像を取得し、両画像の差分情報から欠陥位置を抽出し、該位置にセンタリングして欠陥の高倍率画像を取得する走査型顕微鏡において、同一チップ内に複数の欠陥が存在する時は、まず該チップに隣接するチップにおいてすべての欠陥に対応するリファレンス画像を順次取得して、リファレンス画像を先読みすることを特徴とする半導体ウエハに配列されたチップ検査方法。

IPC (4件)：

H01J 37/28 , G01B 15/00 , G01N 21/956 , H01L 21/66

FI (5件)：

H01J 37/28 B , G01B 15/00 B , G01N 21/956 A , H01L 21/66 C , H01L 21/66 J

Fターム (27件)：

2F067AA03 , 2F067AA62 , 2F067BB02 , 2F067BB04 , 2F067CC17 , 2F067EE10 , 2F067HH06 , 2F067JJ05 , 2F067RR35 , 2F067SS02 , 2G051AA51 , 2G051AB01 , 2G051AB02 , 2G051AC02 , 2G051CA03 , 2G051CA04 , 2G051CA11 , 2G051CD04 , 2G051EA08 , 2G051EB01 , 2G051EB02 , 4M106AA01 , 4M106CA38 , 4M106DB05 , 4M106DJ07 , 4M106DJ18 , 5C033UU05

引用特許：

審査官引用 (1件)

試料の観察方法およびその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-195345 出願人：株式会社日立製作所

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