特許

J-GLOBAL ID：200903062483174773

ラマン散乱測定方法およびその測定装置

発明者： 青山 拓
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (3件)： 森 哲也 ,  内藤 嘉昭 ,  崔 秀▲てつ▼
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-414806
公開番号（公開出願番号）：特開2005-172670
出願日： 2003年12月12日
公開日（公表日）： 2005年06月30日
要約：

【課題】 標準試料の試料台上への置き方の差異にかかわらず、装置の正確な状態検査ができるようにしたラマン散乱測定方法の提供など。【解決手段】この発明は、レーザ光源1から試料aに対して光を照射し、試料aからのラマン散乱光を分光して光検出器6で検出し、この検出出力に基づいてラマン散乱測定を行うようにしたラマン散乱測定方法である。そして、ラマン散乱測定を行う際に、試料aを回転させ、その試料aの回転数は、光検出器6がラマン散乱光を検出する時間内にN回転(Nは1を含む正の整数)するようにした。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

光源から試料に対して光を照射し、試料からのラマン散乱光を分光して光検出器で検出し、この検出出力に基づいてラマン散乱測定を行うようにしたラマン散乱測定方法であって、 ラマン散乱測定を行う際に前記試料を回転させ、その試料の回転数は、ラマン散乱光を検出する時間内にN回転(Nは1を含む正の整数)するようにしたことを特徴とするラマン散乱測定方法。

IPC (1件)：

G01N21/65

FI (1件)：

G01N21/65

Fターム (8件)：

2G043CA05 ,  2G043EA03 ,  2G043GA07 ,  2G043GB19 ,  2G043JA01 ,  2G043KA01 ,  2G043KA09 ,  2G043LA01