ダイヤモンドライクカーボン硬質多層膜成形体およびその製造方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小谷悦司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-062395
公開番号（公開出願番号）：特開2002-256415
出願日： 2001年03月06日
公開日（公表日）： 2002年09月11日
要約：

【要約】【課題】鉄系材料を基材として用い、この基材に対して比較的厚く形成しても優れた密着性を発揮することのできるDLC膜を最表面層として形成した硬質多層膜形成体、およびその様な硬質多層膜形成体を形成する為の有用な方法を提供する【解決手段】ダイヤモンドライクカーボン膜を最表面層とし、更に中間層および基材を含んでなり、前記基材は鉄系材料からなると共に、前記中間層は、Crおよび/またはAlの金属からなる基材側の第1層と、Crおよび/またはAlの金属と炭素を含む非晶質層からなる最表面層側の第2層からなる2層構造である。

請求項（抜粋）：

ダイヤモンドライクカーボン膜を最表面層とし、更に中間層および基材を含んでなり、前記基材は鉄系材料からなると共に、前記中間層は、Crおよび/またはAlの金属からなる基材側の第1層と、Crおよび/またはAlの金属と炭素を含む非晶質層からなる最表面層側の第2層からなる2層構造であることを特徴とするダイヤモンドライクカーボン硬質多層膜成形体。

IPC (4件)：

C23C 14/06 , C23C 14/34 , B23B 27/14 , B23P 15/28

FI (5件)：

C23C 14/06 F , C23C 14/06 N , C23C 14/34 N , B23B 27/14 A , B23P 15/28 A

Fターム (17件)：

3C046FF02 , 3C046FF09 , 3C046FF13 , 3C046FF16 , 3C046FF20 , 4K029AA02 , 4K029BA03 , 4K029BA07 , 4K029BA34 , 4K029BB02 , 4K029BC02 , 4K029BD04 , 4K029BD05 , 4K029CA05 , 4K029EA01 , 4K029EA08 , 4K029FA05

引用特許：

審査官引用 (6件)

ダイヤモンドライクカーボン薄膜及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-057085 出願人：株式会社リケン
特開平2-159366
超音波モーター用摺動部品
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-158626 出願人：住友金属鉱山株式会社

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