特許

J-GLOBAL ID：200903062489319030

露光装置及び像歪みの計測方法

発明者： 藪田 光男
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 高橋 光男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-119113
公開番号（公開出願番号）：特開平10-308342
出願日： 1997年05月09日
公開日（公表日）： 1998年11月17日
要約：

【要約】【課題】 像歪み値を短時間で正確に計測できるようにした露光装置及び像歪みの計測方法を提供する。【解決手段】 露光装置45は、ウエハを載置する載置台12及び基準マーク基板46を有するXYステージ44と、光軸上に自在に装着、脱着できる像歪み検出用レチクル49とを備えている。像歪み検出用レチクル49は、9個の遮光領域からなる基準マークと、各基準マークパターンの横脇に設けられた副マークとを有する。XYステージ44の基準マーク基板46の上面には、露光により変色するフォトクロミズム材料からなり、像歪み検出用レチクルの基準マークパターンにより転写された複数個の基準マークが形成されている。像歪み値の計測では、基準マーク基板46を光軸上に移動し、副マークパターンにより基準マーク内に副マークを形成する。これにより、像歪み値の計測毎にフォトレジスト膜を形成して現像する必要がない。

請求項（抜粋）：

載置台上のウエハにレチクルのレチクルパターンを投影する光学系を有する露光装置であって、複数個の図形を有する基準マークパターンと、図形が基準マークパターンの図形より小さな光透過部を有することを除いて、基準マークパターンを所定距離だけ並行移動してなる副マークパターンとを有する像歪み検出用レチクルと、像歪み検出用レチクルの基準マークパターンを転写してなる基準マークを有し、かつ基準マーク領域が、露光により色彩が変化するフォトクロミズム材料により形成されている基準マーク基板と、載置台、及び、基準マークが載置台のウエハ面と同一の水平面になるように基準マーク基板を乗せ、載置台及び基準マーク基板を光学系の結像位置に移動自在なXYステージとを備えていることを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (3件)：

H01L 21/30 516 A ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 502 V