特許
J-GLOBAL ID：200903062506239061
精密研磨用パッド
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-349924
公開番号（公開出願番号）：特開平7-108454
出願日： 1992年12月01日
公開日（公表日）： 1995年04月25日
要約：
【要約】【目的】 研磨性能がすぐれ、化学的に反応性に富み、腐食性の大きい研磨促進剤に対して、耐久性のある、研磨性能の低下のない研磨パッドを提供する。【構成】 芳香族系ポリサルホン樹脂を湿式凝固法等の技法により形成した、多孔構造体よりなる研磨パッド。【効果】 化学的に反応性が高く、腐食性の大きい、研磨促進剤に対して、耐久性が大きく、長時間研磨に使用しても研磨速度の低下,研磨傷の発生,表面粗さ等研磨性能の低下のない、良好な研磨結果を得ることが出来る。
請求項（抜粋）：
芳香族系ポリサルホン樹脂の多孔構造体を材質とする精密研磨用パッド。
IPC (2件)：
B24B 37/00
, H01L 21/304 321
