ボート及びボートを使用する蒸着装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-353447
公開番号（公開出願番号）：特開平10-176261
出願日： 1996年12月16日
公開日（公表日）： 1998年06月30日
要約：

【要約】【課題】蒸着材料を所望の位置に効率良く蒸着出来るボートと蒸着装置を得る。【解決手段】両端を密封した筒状の一端に蒸着用の穴を穿設したボートにおいて、該穴部に筒状部を設けた。

請求項（抜粋）：