特許
J-GLOBAL ID:200903062511054894
ガスセンサ及びその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
塩入 明 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-299861
公開番号(公開出願番号):特開2001-116713
出願日: 1999年10月21日
公開日(公表日): 2001年04月27日
要約:
【要約】【構成】 センサチップ2のパッド6上に貴金属高抵抗合金ワイヤ12を配置し、金ボール18をパッド6にボンディングして、ワイヤ12をパッド6にボンディングする。【効果】 貴金属高抵抗合金ワイヤ12とパッド16とのボンディング強度を増すことができ、それに伴ってボンディング作業が容易になる。
請求項(抜粋):
ガスセンサ本体のリードワイヤを覆うように、金または金合金からなるボンディング材を、パッドまたはステムからなるボンディング相手に付着させ、該ボンディング材とボンディング相手との結合並びに該ボンディング材と前記リードワイヤとの結合により、リードワイヤをボンディング相手にボンディングしたことを特徴とするガスセンサ。
FI (2件):
G01N 27/12 C
, G01N 27/12 B
Fターム (15件):
2G046AA01
, 2G046BA01
, 2G046BB02
, 2G046BC04
, 2G046BC09
, 2G046BE03
, 2G046EA09
, 2G046FB02
, 2G046FE11
, 2G046FE12
, 2G046FE22
, 2G046FE25
, 2G046FE29
, 2G046FE31
, 2G046FE46
引用特許:
審査官引用 (9件)
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ガスセンサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-254753
出願人:フィガロ技研株式会社
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ガスセンサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-032615
出願人:フィガロ技研株式会社
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ガスセンサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-046557
出願人:フィガロ技研株式会社
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特開昭62-011159
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特開昭60-154540
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特開昭63-296248
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特開昭63-159744
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ガス・湿度センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-126889
出願人:フィガロ技研株式会社
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オゾンセンサの製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-122224
出願人:松下電器産業株式会社
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