特許
J-GLOBAL ID：200903062521077043
ペリクルの収納構造
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中川 周吉 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-195534
公開番号（公開出願番号）：特開平11-038597
出願日： 1997年07月22日
公開日（公表日）： 1999年02月12日
要約：
【要約】【課題】従来、ペリクルをトレイとフタとよりなるケースに収納し、かつこれ等のトレイとフタとを、ペリクルに接触させることによってペリクルを拘束し、この状態でペリクルを輸送した場合には、輸送時の振動や衝撃によってペリクルを擦って損傷したり、強い擦れによる塵が発生してペリクルに付着したりする問題があった。【解決手段】枠体1と、この枠体1の上縁面に接着されたペリクル膜2と、該枠体1の下端面に塗着した粘着材3と、該粘着材3を保護するために枠体1の下端面に粘着された保護フィルム4とからなるペリクルAを、トレイ5とフタ6とよりなるケースBに収納する構造に於いて、ケースBに収納された前記ペリクルAの枠体1の外周或いは内周の近傍のトレイ5の所定位置に8個のポスト8を起立し、かつポスト8の起立面に突出部9を突設して該突出部9の下面とトレイ5の上表面との間に凹み状のアンダーカット部10を形成し、このアンダーカット部10に保護フィルム4の周辺縁を挿入することによってペリクルAをトレイ5で拘束するようにした構造である。
請求項（抜粋）：
枠体と、該枠体の上縁面に接着されたペリクル膜と、該枠体の下縁面に塗着した粘着材と、該粘着材を保護するために枠体の下縁面に粘着された保護フィルムからなるペリクルを、トレイとフタとよりなるケースに収納する構造に於いて、該ケース内に収納された前記ペリクルの枠体の外周或いは内周近傍のトレイの所定位置に、ペリクルの保護フィルムを拘束し得る手段を設けて構成したことを特徴とするペリクルの収納構造。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G03F 1/14 J
, H01L 21/30 503 E
, H01L 21/30 503 G
