テーブル駆動装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：曾我道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-285232
公開番号（公開出願番号）：特開平9-127276
出願日： 1995年11月01日
公開日（公表日）： 1997年05月16日
要約：

【要約】【課題】従来のテーブル駆動装置は、1本のボールねじ部を用いてテーブルの傾動を行っていたため、機械的に不安定であると共に駆動軸に直交する軸回りの剛性も十分でなかった。【解決手段】本発明によるテーブル駆動装置は、テーブル(3)を1対のボールねじ部(8,9)で支持し、一方のボールねじ部(8)を駆動用とし、他方のボールねじ部(9)を案内用としているため、機械的な安定が良好で、駆動軸(4)の軸回りの剛性も十分に得ることができる構成である。

請求項（抜粋）：

基台(1)に軸受(2)を介して傾動自在に設けられテーブル(3)を有する駆動軸(4)と、前記駆動軸(4)に接続された軸保持体(5)と、前記軸保持体(5)にベアリング(7)を介して回動自在に設けられモータ(11)により駆動されると共に前記基台(1)に接続された第1ボールねじ部(8)と、前記軸保持体(5)にベアリング(7)を介して回動自在に設けられ非駆動形の第2ボールねじ部(9)と、を備え、前記第1ボールねじ部(8)により前記テーブル(3)を傾動させ、前記第2ボールねじ部(9)は前記テーブル(3)の傾動を支持するように構成したことを特徴とするテーブル駆動装置。

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