特許

J-GLOBAL ID：200903062523492056

光結合構造

発明者： 中田 英彦 ,  中川 剛二 ,  山崎 洋介
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： ▲高▼須 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-104532
公開番号（公開出願番号）：特開平11-014860
出願日： 1998年04月15日
公開日（公表日）： 1999年01月22日
要約：

【要約】【課題】 光結合構造に関し、加工時間の短縮が図れ、かつ光部品と光導波部品との間で高精度な光結合が得られることを課題とする。【解決手段】 光素子又は光導波路を含む光部品に光ファイバ又は該光ファイバを収容するフェルール等の光導波部品7を突き合わせ、これらの光軸を合わせるように前記光導波部品を支持する光結合構造において、光導波部品7を支持すべく光軸方向に延びる溝部3であって、光導波部品7を位置決めするための必要最小限のV字状又は台形状の溝3bを結晶基板1の異方性エッチングにより形成すると共に、それ以外の部分は機械的手段により切削された凹溝3a,3cとなし、異方性エッチング時間の短縮と、V字状又は台形状の溝3bの面精度の改善を図る。

請求項（抜粋）：

光素子又は光導波路を含む光部品に光ファイバ又は該光ファイバを収容するフェルール等の光導波部品を突き合わせ、これらの光軸を合わせるように前記光導波部品を支持する光結合構造において、前記光導波部品を支持すべく光軸方向に延びる溝部であって、機械的手段により切削された第1の溝の床面側に結晶基板の異方性エッチングにより形成された断面V字状又は台形状の第2の溝を備えることを特徴とする光結合構造。

IPC (4件)：

G02B 6/30 ,  G02B 6/42 ,  H01L 31/0232 ,  H01S 3/18

FI (4件)：

G02B 6/30 ,  G02B 6/42 ,  H01S 3/18 ,  H01L 31/02 C