特許
J-GLOBAL ID：200903062524058341
酸化物超伝導薄膜の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-314748
公開番号（公開出願番号）：特開平10-158095
出願日： 1996年11月26日
公開日（公表日）： 1998年06月16日
要約：
【要約】【課題】 目的とする任意の基板上に、良好な超伝導特性を有する単結晶状酸化物超伝導薄膜を製造する方法を提供する。【解決手段】 堆積用基板1上にエピタキシャル成長法により単結晶状酸化膜超伝導薄膜2を作製し、単結晶状酸化膜超伝導薄膜2上に接着媒質3を塗布する。次いで、単結晶状酸化膜超伝導薄膜2を、接着媒質3により、目的とする任意の基板4上に対向させて貼り合わせる。その後、堆積用基板1を除去することにより、目的とする任意の基板4上に結晶状酸化膜超伝導薄膜2を製造する。
請求項（抜粋）：
目的とする基板上に単結晶状酸化物超伝導薄膜を製造する酸化物超伝導薄膜の製造方法であって、目的とする基板上にバルク単結晶状酸化物超伝導体を接着媒質を介して貼り付けた後、該バルク単結晶状酸化物超伝導体に対して研磨またはエッチングを行なうことを特徴とする、酸化物超伝導薄膜の製造方法。
IPC (5件)：
C30B 29/22 501
, C01G 1/00
, C01G 3/00 ZAA
, C23C 14/08
, C30B 23/08 ZAA
C30B 29/22 501 E
, C01G 1/00 S
, C01G 3/00 ZAA
, C23C 14/08 L
, C30B 23/08 ZAA Z
