特許
J-GLOBAL ID：200903062529976616
透明導電膜の形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-272292
公開番号（公開出願番号）：特開平5-114314
出願日： 1991年10月21日
公開日（公表日）： 1993年05月07日
要約：
【要約】【目的】 低抵抗で高透過率の透明導電膜を安定して形成することが可能な透明導電膜形成方法を提供する。【構成】 インジウムとスズのいずれとも配位可能な有機化合物と、無機インジウム化合物と、有機スズ化合物とからなる有機溶液を加熱処理することにより、有機化合物が1部配位した無機インジウム化合物と有機スズ化合物と無機インジウム化合物が含有する結晶水が反応し、有機スズ化合物が部分的に加水分解されて、インジウムとスズの中間複合化合物を形成し、これによって従来の課題であったスズの蒸散による膜の不均一化を抑え、得られる膜の低抵抗率と高透過率を与えるものである。また、熱分解触媒の添加も熱分解性を向上させ、前記組成物を基板に塗布・焼成して得られる膜の低抵抗率と高透過率を与えるものである。
請求項（抜粋）：
インジウムとスズのいずれにも配位可能な有機化合物と、無機インジウム化合物と、有機スズ化合物とからなる有機溶液を加熱処理して部分的に加水分解させ、前記有機溶液に熱分解触媒を混合して形成することを特徴とする透明導電膜の形成方法。
IPC (3件)：
H01B 13/00 503
, C23C 18/12
, H01B 5/14
