特許
J-GLOBAL ID：200903062532129886
ガス噴射装置およびガス噴射方向調整方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
原 謙三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-067595
公開番号（公開出願番号）：特開2001-257165
出願日： 2000年03月10日
公開日（公表日）： 2001年09月21日
要約：
【要約】【課題】 従来において必要であった付帯作業を省いて生産効率を向上できるガス噴射装置およびその調整方法を提供する。【解決手段】 ガスを噴射するためのノズル2bを先端部に、ノズルナット部2dと球状基端部2cとからなる球状部2aを基端部に有するノズル部2を設ける。ノズル2bから外方へのガスの噴射方向を調整可能に球状部2aを支持するノズルケース1を設ける。ノズル2bおよびノズルナット部2dの一方の、上記長手方向を軸とする回転によって、球状基端部2cおよびノズルナット部2dは、上記長手方向に互いに離間するようになっている。ガスの噴射方向が調整されたノズル部2の固定をノズル2b側からできるので、従来必要であった付帯作業を省いてノズル部2におけるガスの噴射方向の調整を簡素化できる。
請求項（抜粋）：
ガスを噴射するためのノズルを先端部に有するノズル本体と、ノズルから外方へのガスの噴射方向を調整可能にノズル本体を支持するノズル本体収納部とを有し、ノズル本体は、ノズル基端部と、ノズルの長手方向に沿ってノズル基端部に対し変位可能なノズル変位部とを備え、ノズルおよびノズル変位部の一方の、上記長手方向を軸とする回転によって、ノズル基端部およびノズル変位部は、上記長手方向に互いに離間するようになっていることを特徴とするガス噴射装置。
IPC (2件)：
H01L 21/205
, B05B 1/26 BBU
H01L 21/205
, B05B 1/26 BBU Z
4F033BA01
, 4F033DA01
, 4F033JA00
, 4F033NA01
, 5F045BB01
, 5F045EF02
, 5F045EF10
