特許
J-GLOBAL ID：200903062534006870
オキシムスルホン酸エステルおよび潜伏性スルホン酸としてのそれらの使用
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
萼 経夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-305834
公開番号（公開出願番号）：特開平9-222725
出願日： 1996年10月31日
公開日（公表日）： 1997年08月26日
要約：
【要約】【課題】 390nmより上の長い波長における照射で光重合し得る組成物を提供する。【解決手段】 潜伏性酸供与体としての下式I【化1】で表されるオキシムスルホン酸エステル、例えば、α-(メチルスルホニルオキシイミノ)-3,4-ジメトキシベンジルシアニド、ならびにそれを使用するa)酸の作用下で架橋し得る化合物の少なくとも1種および/またはb)酸の作用下でその溶解度が変化する少なくとも1種の化合物ならびにc)光開始剤として式Iで表される化合物からなる組成物、ならびに該感光性組成物の特にフォトレジストとしての使用。
請求項（抜粋）：
a)酸の作用下で架橋し得る化合物の少なくとも1種および/またはb)酸の作用下でその溶解度が変化する少なくとも1種の化合物ならびにc)光開始剤として、下式I【化1】〔式中、mは0または1を表しおよびxは1または2を表し;R1 は炭素原子数1ないし12のアルキル基、炭素原子数1ないし4のハロアルキル基、フェニル基、OR4 、SR4 および/またはNR5 R6 の1またはそれ以上によって置換されたフェニル基を表し;前記置換基OR4 、SR4 およびNR5 R6 は基R4 、R5 および/またはR6 を介して他の置換基と、または前記フェニル環の炭素原子の一つとともに5-または6-員環を形成することができ、但し、この場合フェニル環はメトキシ基により置換される場合、他の置換基の少なくとも1つが環に存在しなければならない;あるいはR1 はナフチル基、アントラシル基またはフェナントリル基を表し、前記ナフチル基、アントラシル基またはフェナントリル基は未置換であるかまたは炭素原子数1ないし6のアルキル基、フェニル基、OR4 、SR4 によりおよび/またはNR5 R6 により置換されており;前記置換基OR4 、SR4 およびNR5 R6は、基R4 、R5 および/またはR6 を介して他の置換基と、または前記ナフチル、アントラシルまたはフェナントリル環の炭素原子の一つとともに5-または6-員環を形成することができ;あるいはR1 は未置換であるかまたは炭素原子数1ないし6のアルキル基、フェニル基、OR4 、SR4 および/またはNR5 R6 により置換されたヘテロアリール基を表し;前記置換基OR4 、SR4 およびNR5 R6 は、基R4 、R5 および/またはR6 を介して他の置換基と、または前記ヘテロアリール環の炭素原子の一つとともに5-または6-員環を形成することができ、但し、この場合にはR1 は未置換のチエニル基ではなく;R2 はR1 の意味の1つを有するか、あるいは未置換のもしくはCN-置換されたフェニル基、炭素原子数2ないし6のアルカノイル基;未置換のもしくは炭素原子数1ないし6のアルキル基、フェニル基、OR4 、SR4 および/またはNR5 R6 で置換されたベンゾイル基;炭素原子数2ないし6のアルコキシカルボニル基、フェノキシカルボニル基、R5 R6 N、モルホリノ基、ピペリジノ基、CN、炭素原子数1ないし4のハロアルキル基、S(O )n -炭素原子数1ないし6のアルキル基(基中、nは1または2を表す。)、未置換のもしくは炭素原子数1ないし12のアルキル基で置換されたS(O )n -炭素原子数6ないし12のアリール基(基中、nは1または2を表す。)、SO2 O-炭素原子数1ないし6のアルキル基、SO2 O-炭素原子数6ないし10のアリール基またはNHCONH2 基を表すか;あるいはR1 およびR2 は、適当ならばCO基と一緒になって、未置換であるかまたは炭素原子数1ないし6のアルキル基、フェニル基、OR4 、SR4 によりおよび/またはNR5 R6 により置換され、およびそれはさらにO、S、NR5 によっておよび/またはCOによってさらに中断されていてもよい5-または6-員環を形成し、該5-または6-員環には1またはそれ以上のベンゾ基が縮合していてもよく;xが1のとき、R3 は炭素原子数1ないし18のアルキル基、フェニル-炭素原子数1ないし3のアルキル基、カンホリル基、炭素原子数1ないし10のハロアルキル基、フェニル基、ナフチル基、アントラシル基またはフェナントリル基を表し;前記フェニル基、ナフチル基、アントラシル基およびフェナントリル基は未置換であるかまたはハロゲン、炭素原子数1ないし4のハロアルキル基、CN、NO2 、炭素原子数1ないし16のアルキル基、フェニル基、OR4 、COOR7 、-OCO-炭素原子数1ないし4のアルキル基、SO2 OR7 の1またはそれ以上によっておよび/またはR5 R6 Nによって置換されており;あるいはxが2のとき、R3 は炭素原子数2ないし12のアルキレン基、フェニレン基、ナフチレン基、【化2】、ジフェニレン基またはオキシジフェニレン基を表し;前記フェニレン基、ナフチレン基、【化3】、ジフェニレン基またはオキシジフェニレン基は未置換であるかまたは炭素原子数1ないし12のアルキル基で置換されており;R4 は水素原子、未置換であるかもしくはフェニル基、OH、炭素原子数1ないし12のアルコキシ基、炭素原子数1ないし12のアルキルスルホニル基、フェニルスルホニル基、(4-メチルフェニル)スルホニル基によっておよび/または炭素原子数2ないし6のアルカノイル基によって置換され、およびさらに-O-によって中断されてもよい、炭素原子数1ないし12のアルキル基を表すか、あるいはR4 はフェニル基を表し;R5 およびR6 は各々互いに独立して、水素原子または、未置換であるかもしくはOH、炭素原子数1ないし4のアルコキシ基、炭素原子数1ないし12のアルキルスルホニル基、フェニルスルホニル基、(4-メチルフェニル)スルホニル基によっておよび/または炭素原子数1ないし6のアルカノイル基によって置換され、およびさらに-O-によって中断されていてもよい、炭素原子数1ないし12のアルキル基を表すか;あるいはR5 およびR6 はフェニル基、炭素原子数2ないし6のアルカノイル基、ベンゾイル基、炭素原子数1ないし6のアルキルスルホニル基、フェニルスルホニル基、(4-メチルフェニル)スルホニル基、ナフチルスルホニル基、アントラシルスルホニル基またはフェナントリルスルホニル基を表すか、あるいは、R5 およびR6 はそれらに結合している窒素原子と一緒になって、-O-によりもしくは-NR4 -により中断されていてもよい5-、6-または7-員環を形成し;ならびにR7 は未置換であるかまたはOHによりおよび/または炭素原子数1ないし4のアルコキシ基により置換され、そしてさらに-O-によって中断されていてもよい炭素原子数1ないし12のアルキル基を表す。〕で表される化合物の少なくとも1種からなる光活性化され得る組成物。
IPC (9件)：
G03F 7/004 503
, G03F 7/004 501
, C08F 2/46 MDN
, C09D 11/00 PTG
, C09D161/28 PHJ
, H01L 21/027
, A61K 6/00
, C07C309/64
, C07C309/72
G03F 7/004 503 A
, G03F 7/004 501
, C08F 2/46 MDN
, C09D 11/00 PTG
, C09D161/28 PHJ
, A61K 6/00 Z
, C07C309/64
, C07C309/72
, H01L 21/30 502 R
