特許

J-GLOBAL ID：200903062535075477

酸化セリウム系研摩材及びその研摩材の特性評価方法

発明者： 内野 義嗣 ,  山▲崎▼ 秀彦 ,  高橋 和明 ,  加藤 和彦
出願人/特許権者： 三井金属鉱業株式会社
代理人 (1件)： 田中 大輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-381407
公開番号（公開出願番号）：特開2002-241740
出願日： 2001年12月14日
公開日（公表日）： 2002年08月28日
要約：

【要約】【課題】 高速な研摩が行え、傷などが殆ど発生しない高精度な研摩面を実現することができる、新たな基準を有する酸化セリウム系研摩材を提供すると共に、本発明で明らかとした基準を用いることで酸化セリウム系研摩材の研摩特性を簡易に評価する方法を提供する【解決手段】 酸化セリウムを含む希土類酸化物を主成分とする酸化セリウム系研摩材において、研摩材の細孔容積が0.002〜0.1cm3/gであるものとした。そして、評価対象である酸化セリウム系研摩材を所定量秤量し、秤量した酸化セリウム系研摩材の細孔容積を測定することにより、研摩材の特性を簡易に評価できるものとした。

請求項（抜粋）：

酸化セリウムを含む希土類酸化物を主成分とする酸化セリウム系研摩材において、該研摩材の細孔容積が0.002〜0.1cm3/gであることを特徴とする酸化セリウム系研摩材。