プロセスガス供給ユニット

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出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：富澤孝 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-187066
公開番号（公開出願番号）：特開2000-018407
出願日： 1998年07月02日
公開日（公表日）： 2000年01月18日
要約：

【要約】【課題】小型化・短縮化し、コストダウンしたマスフローコントローラシステムを提供すること。【解決手段】入口開閉弁が、遮断弁機能を備えるエアオペレート式比例弁15であり、入口開閉弁へ供給するエア圧力を制御する制御弁35、36と、圧力センサ13の出力を受けて、入口開閉弁の出口ポート21の圧力を所定値になるように、制御弁35、36を制御する制御手段32とを有する。

請求項（抜粋）：

入口開閉弁と、マスフローコントローラと、圧力センサと、出口開閉弁とを有するプロセスガス供給ユニットにおいて、前記入口開閉弁が、遮断弁機能を備えるエアオペレート式比例弁であり、前記入口開閉弁へ供給するエア圧力を制御する制御弁と、前記圧力センサの出力を受けて、前記入口開閉弁の出口ポート圧力を所定値になるように、前記制御弁を制御する制御手段とを有することを特徴とするプロセスガス供給ユニット。

IPC (2件)：

F16K 21/00 , F16K 31/06 330

FI (2件)：

F16K 21/00 C , F16K 31/06 330

Fターム (2件)：

3H106FB11 , 3H106KK12

引用特許：

審査官引用 (7件)

特許第2731080号
電空レギュレータ用圧力制御装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-179377 出願人：エスエムシー株式会社
ガス供給装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-045929 出願人：株式会社東芝, シーケーディ株式会社

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