特許

J-GLOBAL ID：200903062541854704

ガス分析計

発明者： 松田 耕一郎 ,  藤原 雅彦
出願人/特許権者： 株式会社堀場製作所
代理人 (1件)： 藤本 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-246728
公開番号（公開出願番号）：特開2003-057223
出願日： 2001年08月15日
公開日（公表日）： 2003年02月26日
要約：

【要約】【課題】 パームトップサイズといった超小型、超軽量でかつ消費電力が少なく、安価であり、各種のガスを高精度に測定することのできるガス分析計を提供すること。【解決手段】 マイクロチップ1にガス導入部3およびこれに連なるガス流路2を形成し、このガス流路2内に、ガス導入部3から導入されたサンプルガスSに含まれる特定の成分を各別に分離するマイクロカラム8およびマイクロカラム8を経たサンプルガスSに接触される半導体ガスセンサ9を設け、さらに、この半導体ガスセンサ9を経たサンプルガスSを下流側のガス導出部4より排出するように構成するとともに、前記サンプルガスSが半導体ガスセンサ9に接触することによって半導体ガスセンサ9から出力される信号におけるピーク位置に基づいて前記サンプルガスSにおける特定の成分を検出するようにした。

請求項（抜粋）：

マイクロチップにガス導入部およびこれに連なるガス流路を形成し、このガス流路内に、ガス導入部から導入されたサンプルガスに含まれる特定の成分を各別に分離するマイクロカラムおよびマイクロカラムを経たサンプルガスに接触される半導体ガスセンサを設け、さらに、この半導体ガスセンサを経たサンプルガスを下流側のガス導出部より排出するように構成するとともに、前記サンプルガスが半導体ガスセンサに接触することによって半導体ガスセンサから出力される信号におけるピーク位置に基づいて前記サンプルガスにおける特定の成分を検出するようにしたことを特徴とするガス分析計。

IPC (4件)：

G01N 30/60 ,  G01N 27/12 ,  G01N 30/64 ,  G01N 37/00 101

FI (5件)：

G01N 30/60 D ,  G01N 27/12 A ,  G01N 27/12 B ,  G01N 30/64 Z ,  G01N 37/00 101

Fターム (14件)：

2G046AA11 ,  2G046AA12 ,  2G046AA13 ,  2G046AA14 ,  2G046AA34 ,  2G046BA02 ,  2G046BG04 ,  2G046DB04 ,  2G046DC14 ,  2G046DC16 ,  2G046DC17 ,  2G046DC18 ,  2G046FB02 ,  2G046FE39