特許

J-GLOBAL ID：200903062551566910

真空蒸着装置用蒸発源のシャッタ機構

発明者： 松岡 進 ,  高梨 泉
出願人/特許権者： 日本真空技術株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-355955
公開番号（公開出願番号）：特開平6-093428
出願日： 1991年12月20日
公開日（公表日）： 1994年04月05日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】シャッタ板の内面に堆積した蒸発粒子の堆積物の除去作業を簡単にするとともに、歯車の噛み合わせ不良をなくすことの出来るようにする。【構成】回動アームを持つリンク機構と、このリンク機構の開閉アーム27の先端部にピン結合され、両側にローラ29を持つシャッタ板28と、このシャッタ板のローラの移動を案内する円弧状のガイドレール30と、シャッタ板が蒸発源を覆わなくなる位置まで開閉アームが回動したとき、開閉アームを係止させる係止部32とを備え、開閉アームが係止部に係止しているとき、開閉アームの先端部のピン結合の部分を支点として、開閉アームを反転することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

構成の一部に開閉アームを持つリンク機構と、このリンク機構の開閉アームの先端部にピン結合され、ローラを両側に持つシャッタ板と、このシャッタ板のローラの移動を案内する円弧状のガイドレールと、前記シャッタ板が蒸発源を覆わなくなる位置まで開閉アームが回動したとき、開閉アームを係止させる係止部とを備え、前記開閉アームが係止部に係止しているとき、上記開閉アームの先端部のピン結合の部分を支点として、上記開閉アームを反転することを特徴とする真空蒸着装置用蒸発源のシャッタ機構。